Hardness of C, CNx and AlN thin films after rapid thermal annealing

  1. Beshkov, G.
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  3. Elizalde, M.R.
  4. Gomez-Acebo, T.
Revue:
Materials Chemistry and Physics

ISSN: 0254-0584

Année de publication: 2003

Volumen: 82

Número: 2

Pages: 452-457

Type: Article

DOI: 10.1016/S0254-0584(03)00280-3 GOOGLE SCHOLAR

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