Periodic patterning of silicon by direct nanosecond laser interference ablation

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  6. Castaño, E.
Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 258

Nummer: 3

Seiten: 1175-1180

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2011.09.062 GOOGLE SCHOLAR
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