Desarrollo de un potenciometro sin contactos basado en peliculas delgadas de magnetorresistencias colosales

Résumé

Los mercados de productos electromecánicos para aplicaciones de alta tasa de uso diario en la industria del automóvil, el electrodomestico o la electronica de consumo están demandado dispositivos microelectrónicos robustos y fiables basados en soluciones sin contacto. Este es el caso de los sensores para la medida de velocidad de rotación, posición lineal o angular, medidores no invasivos de corriente o potenciómetros para el control de señal el sistemas electrónicos. Los materiales del tipo Magnetorresistencia Gigante (GMR) o Colosal(CMR) basados en el Efecto Magnetorresistivo-capacidad para un cambio resistivo con un bajo campo magnético aplicado-aparecen como una solución directa de bajo costo para este tipo de medidas sin contacto. Los objetivos principales de esta tesis doctoral se centran en dos aspectos: por una parte, se investigan las propiedades magnetorresistivas de la pelicula delgada de MnO3LaxSr1-x de estructura perovskita depositada por pulverización catódica y la influencia de distintos parámetros (tratamiento térmico de recocido, proceso de deposito, ...), desarrollándose un proceso de optimización de la misma que concluye en la obtención de una pelicula delgada con una elevada magnetorresistencia. Por otro lado, se analizan las potencialidades de dicha pelicula delgada para su uso en dispositivos sensores aplicando para su fabricación, tecnicas avanzadas de la tecnologia de los microsistemas. El resultado ha sido un dispositivo sin contactos constituido por un puente de Wheatstone con cuatro magnetorresistencias activas. El material utilizado ha sido una película delgada de MnO3LaxSr1-x de estructura perovskita depositada por pulverización catódica sobre un sutrato de alúmina. Un imán permanente semicircular montado sobre un eje rotatorio constituye la excitación del elemento sensible cuya salida es amplificada por un microcircuito ensamblado en el mismo encapsulado. El nuevo dispositivo o