Use of nanoindentation to characterise the plasma damage region in low-k dielectric films

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Actas:
American Society of Mechanical Engineers, Applied Mechanics Division, AMD

ISSN: 0160-8835

ISBN: 9780791837900

Año de publicación: 2006

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1115/IMECE2006-15835 GOOGLE SCHOLAR
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