Revised formulae for sputtering data

  1. García-Rosales, C.
  2. Eckstein, W.
  3. Roth, J.
Revista:
Journal of Nuclear Materials

ISSN: 0022-3115

Any de publicació: 1995

Volum: 218

Número: 1

Pàgines: 8-17

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0022-3115(94)00376-9 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus