End-fire coupling of a SU-8 waveguide to a silicon mesa photodiode: Integrability in an optical analysis microsystem

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Revista:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Año de publicación: 2005

Volumen: 123-124

Páginas: 313-318

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/J.SNA.2005.02.013 GOOGLE SCHOLAR

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