(TECNUN) Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Departamento académico
M.
Leskelä
Publicacións nas que colabora con M. Leskelä (1)
2004
-
Work function stability of thermal ALD Ta(Si)N gate electrodes on HfO 2
ESSCIRC 2004 - Proceedings of the 34th European Solid-State Device Research Conference