Ultrathin metallic membranes to be used in tunable RFMEMS volume capacitors
- Etxeberria, J.A.
- Sancho, A.
- De La Fuente, P.
- Gracia, F.J.
- Cabezón, X.
Konferenzberichte:
Proceedings of IEEE Sensors
ISBN: 9780780390560
Datum der Publikation: 2005
Ausgabe: 2005
Seiten: 448-451
Art: Konferenz-Beitrag