Ultrathin metallic membranes to be used in tunable RFMEMS volume capacitors
- Etxeberria, J.A.
- Sancho, A.
- De La Fuente, P.
- Gracia, F.J.
- Cabezón, X.
Aktak:
Proceedings of IEEE Sensors
ISBN: 9780780390560
Argitalpen urtea: 2005
Alea: 2005
Orrialdeak: 448-451
Mota: Biltzar ekarpena