Laser interference lithography

  1. Tan, C.
  2. Peng, C.S.
  3. Rodriguez, A.
  4. Pessa, M.
  5. Olaizola, S.M.
  6. Petryakov, V.N.
  7. Verevkin, Y.K.
  8. Zhang, J.
  9. Wang, Z.
  10. Berthou, T.
  11. Tisserand, S.
Buch:
Advances in Nanotechnology. Volume 4

ISBN: 9781616686185

Datum der Publikation: 2010

Seiten: 179-204

Art: Buch-Kapitel