Metallization and electrical characterization of platinum thin film microelectrodes on biocompatible polydimethylsiloxane substrates for neural implants
- Fuentes, M.D.C.
- Pérez, N.
- Ayerdi, I.
Zeitschrift:
Thin Solid Films
ISSN: 0040-6090
Datum der Publikation: 2017
Ausgabe: 636
Seiten: 438-445
Art: Artikel