SU8 protective layers in liquid operating SAWs

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Zeitschrift:
Sensors and Actuators, B: Chemical

ISSN: 0925-4005

Datum der Publikation: 2006

Ausgabe: 118

Nummer: 1-2

Seiten: 374-379

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.SNB.2006.04.083 GOOGLE SCHOLAR