Characterization of interconnect interfacial adhesion by cross-sectional nanoindentation
- Scherban, T.
- Pantuso, D.
- Sun, B.
- El-Mansy, S.
- Xu, J.
- Elizalde, M.R.
- Sánchez, J.M.
- Martínez-Esnaola, J.M.
ISSN: 0376-9429
Datum der Publikation: 2003
Ausgabe: 120
Nummer: 1-2
Seiten: 421-429
Art: Artikel