Revised formulae for sputtering data

  1. García-Rosales, C.
  2. Eckstein, W.
  3. Roth, J.
Revista:
Journal of Nuclear Materials

ISSN: 0022-3115

Año de publicación: 1995

Volumen: 218

Número: 1

Páginas: 8-17

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0022-3115(94)00376-9 GOOGLE SCHOLAR
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