Thin film technology applied to the development of a multilayer pressure sensor device
- García-Alonso, A.
- Castaño, E.
- Obieta, I.
- Garcia, J.
- Gracia, F.
ISSN: 0042-207X
Datum der Publikation: 1994
Ausgabe: 45
Nummer: 10-11
Seiten: 1103-1105
Art: Artikel