Santiago Miguel
Olaizola Izquierdo
Investigador Principal
Institute of Applied Physics
Nizhniy Novgorod, RusiaPublicacions en col·laboració amb investigadors/es de Institute of Applied Physics (2)
2009
-
High-power laser interference lithography process on photoresist: Effect of laser fluence and polarisation
Applied Surface Science, Vol. 255, Núm. 10, pp. 5537-5541
-
Laser interference lithography for nanoscale structuring of materials: From laboratory to industry
Microelectronic Engineering, Vol. 86, Núm. 4-6, pp. 937-940