Laser interference lithography for nanoscale structuring of materials: From laboratory to industry

  1. Rodriguez, A.
  2. Echeverría, M.
  3. Ellman, M.
  4. Perez, N.
  5. Verevkin, Y.K.
  6. Peng, C.S.
  7. Berthou, T.
  8. Wang, Z.
  9. Ayerdi, I.
  10. Savall, J.
  11. Olaizola, S.M.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Año de publicación: 2009

Volumen: 86

Número: 4-6

Páginas: 937-940

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.MEE.2008.12.043 GOOGLE SCHOLAR
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