(TECNUN) Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Departamento académico
Istituto Nazionale Per La Fisica Della Materia
Génova, ItaliaPublicacions en col·laboració amb investigadors/es de Istituto Nazionale Per La Fisica Della Materia (1)
2004
-
Ru and RuO2 gate electrodes for advanced CMOS technology
Materials Science and Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology