(TECNUN) Ingeniería Eléctrica y Electrónica
Departamento académico
Slovak Academy of Sciences
Bratislava, EslovaquiaPublicacions en col·laboració amb investigadors/es de Slovak Academy of Sciences (1)
2004
-
Ru and RuO2 gate electrodes for advanced CMOS technology
Materials Science and Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology