Enhanced depth control of ultrafast laser micromachining of microchannels in soda-lime glass

  1. Rodríguez, A.
  2. Arriola, A.
  3. Tavera, T.
  4. Pérez, N.
  5. Olaizola, S.M.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Any de publicació: 2012

Volum: 98

Pàgines: 672-675

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1016/J.MEE.2012.06.021 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus