Enhanced depth control of ultrafast laser micromachining of microchannels in soda-lime glass

  1. Rodríguez, A.
  2. Arriola, A.
  3. Tavera, T.
  4. Pérez, N.
  5. Olaizola, S.M.
Zeitschrift:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 98

Seiten: 672-675

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.MEE.2012.06.021 GOOGLE SCHOLAR