A design tool for pressure microsensors based on FEM simulations

  1. Bistué, G.
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  3. García-Alonso, S.
  4. Castaño, E.
  5. Gracia, F.J.
  6. García-Alonso, A.
Zeitschrift:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Datum der Publikation: 1997

Ausgabe: 62

Nummer: 1-3

Seiten: 591-594

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0924-4247(97)01598-7 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
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