A design tool for pressure microsensors based on FEM simulations

  1. Bistué, G.
  2. Elizalde, J.G.
  3. García-Alonso, S.
  4. Castaño, E.
  5. Gracia, F.J.
  6. García-Alonso, A.
Aldizkaria:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Argitalpen urtea: 1997

Alea: 62

Zenbakia: 1-3

Orrialdeak: 591-594

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/S0924-4247(97)01598-7 GOOGLE SCHOLAR lock_openSarbide irekia editor