Laser interference lithography
- Tan, C.
- Peng, C.S.
- Rodriguez, A.
- Pessa, M.
- Olaizola, S.M.
- Petryakov, V.N.
- Verevkin, Y.K.
- Zhang, J.
- Wang, Z.
- Berthou, T.
- Tisserand, S.
Libro:
Advances in Nanotechnology. Volume 4
ISBN: 9781616686185
Año de publicación: 2010
Páginas: 179-204
Tipo: Capítulo de Libro