Ceramic pressure sensor based on tantalum thin film

  1. Ayerdi, I.
  2. Castaño, E.
  3. Garcia-Alonso, A.
  4. Gracia, F.J.
Zeitschrift:
Sensors and Actuators: A. Physical

ISSN: 0924-4247

Datum der Publikation: 1994

Ausgabe: 42

Nummer: 1-3

Seiten: 435-438

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0924-4247(94)80028-6 GOOGLE SCHOLAR
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