Ceramic pressure sensor based on tantalum thin film

  1. Ayerdi, I.
  2. Castaño, E.
  3. Garcia-Alonso, A.
  4. Gracia, F.J.
Aldizkaria:
Sensors and Actuators: A. Physical

ISSN: 0924-4247

Argitalpen urtea: 1994

Alea: 42

Zenbakia: 1-3

Orrialdeak: 435-438

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0924-4247(94)80028-6 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus