Characterization of interconnect interfacial adhesion by cross-sectional nanoindentation

  1. Scherban, T.
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  6. Elizalde, M.R.
  7. Sánchez, J.M.
  8. Martínez-Esnaola, J.M.
Revista:
International Journal of Fracture

ISSN: 0376-9429

Año de publicación: 2003

Volumen: 120

Número: 1-2

Páginas: 421-429

Tipo: Artículo

DOI: 10.1023/A:1024931913643 GOOGLE SCHOLAR
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