Thin film technology applied to the development of a multilayer pressure sensor device

  1. García-Alonso, A.
  2. Castaño, E.
  3. Obieta, I.
  4. Garcia, J.
  5. Gracia, F.
Revista:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Año de publicación: 1994

Volumen: 45

Número: 10-11

Páginas: 1103-1105

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0042-207X(94)90035-3 GOOGLE SCHOLAR
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