Mechanical and electrical properties Of SiO2 thin films r.f. sputtered on non-silicon substrates for mechanical sensors
- García-Alonso, A.
- Artázcoz, J.
- Castaño, E.
- Obieta, I.
- Gracia, F.J.
ISSN: 0924-4247
Any de publicació: 1993
Volum: 37-38
Número: C
Pàgines: 57-60
Tipus: Article