Mechanical and electrical properties Of SiO2 thin films r.f. sputtered on non-silicon substrates for mechanical sensors

  1. García-Alonso, A.
  2. Artázcoz, J.
  3. Castaño, E.
  4. Obieta, I.
  5. Gracia, F.J.
Zeitschrift:
Sensors and Actuators: A. Physical

ISSN: 0924-4247

Datum der Publikation: 1993

Ausgabe: 37-38

Nummer: C

Seiten: 57-60

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0924-4247(93)80012-6 GOOGLE SCHOLAR
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