Mechanical and electrical properties Of SiO2 thin films r.f. sputtered on non-silicon substrates for mechanical sensors

  1. García-Alonso, A.
  2. Artázcoz, J.
  3. Castaño, E.
  4. Obieta, I.
  5. Gracia, F.J.
Aldizkaria:
Sensors and Actuators: A. Physical

ISSN: 0924-4247

Argitalpen urtea: 1993

Alea: 37-38

Zenbakia: C

Orrialdeak: 57-60

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0924-4247(93)80012-6 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus