Enhanced depth control of ultrafast laser micromachining of microchannels in soda-lime glass

  1. Rodríguez, A.
  2. Arriola, A.
  3. Tavera, T.
  4. Pérez, N.
  5. Olaizola, S.M.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Año de publicación: 2012

Volumen: 98

Páginas: 672-675

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/J.MEE.2012.06.021 GOOGLE SCHOLAR
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