Porous silicon for the development of capacitive microstructures
- Sancho, A.
- Arizti, F.
- Gracia, F.J.
ISSN: 0167-9317
Any de publicació: 2009
Volum: 86
Número: 11
Pàgines: 2144-2148
Tipus: Article
ISSN: 0167-9317
Any de publicació: 2009
Volum: 86
Número: 11
Pàgines: 2144-2148
Tipus: Article