Porous silicon for the development of capacitive microstructures

  1. Sancho, A.
  2. Arizti, F.
  3. Gracia, F.J.
Zeitschrift:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Datum der Publikation: 2009

Ausgabe: 86

Nummer: 11

Seiten: 2144-2148

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.MEE.2009.02.031 GOOGLE SCHOLAR
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