Porous silicon for the development of capacitive microstructures

  1. Sancho, A.
  2. Arizti, F.
  3. Gracia, F.J.
Aldizkaria:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Argitalpen urtea: 2009

Alea: 86

Zenbakia: 11

Orrialdeak: 2144-2148

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.MEE.2009.02.031 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus