3D macroporous structures for the development of high capacitance silicon integrated microcapacitors

  1. Sancho, A.
  2. Etxeberria, J.A.
  3. Gracia, F.J.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Any de publicació: 2007

Volum: 84

Número: 5-8

Pàgines: 1308-1311

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.MEE.2007.01.233 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus