3D macroporous structures for the development of high capacitance silicon integrated microcapacitors

  1. Sancho, A.
  2. Etxeberria, J.A.
  3. Gracia, F.J.
Aldizkaria:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Argitalpen urtea: 2007

Alea: 84

Zenbakia: 5-8

Orrialdeak: 1308-1311

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.MEE.2007.01.233 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus