3D macroporous structures for the development of high capacitance silicon integrated microcapacitors

  1. Sancho, A.
  2. Etxeberria, J.A.
  3. Gracia, F.J.
Zeitschrift:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 84

Nummer: 5-8

Seiten: 1308-1311

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.MEE.2007.01.233 GOOGLE SCHOLAR
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