A design tool for pressure microsensors based on FEM simulations

  1. Bistué, G.
  2. Elizalde, J.G.
  3. García-Alonso, S.
  4. Castaño, E.
  5. Gracia, F.J.
  6. García-Alonso, A.
Revista:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Año de publicación: 1997

Volumen: 62

Número: 1-3

Páginas: 591-594

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0924-4247(97)01598-7 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor

Objetivos de desarrollo sostenible

Fuente de los datos: Scopus