A design tool for pressure microsensors based on FEM simulations

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Revista:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Año de publicación: 1997

Volumen: 62

Número: 1-3

Páginas: 591-594

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0924-4247(97)01598-7 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso abierto editor
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