Hardness of C, CNx and AlN thin films after rapid thermal annealing

  1. Beshkov, G.
  2. Vassilev, G.P.
  3. Elizalde, M.R.
  4. Gomez-Acebo, T.
Revista:
Materials Chemistry and Physics

ISSN: 0254-0584

Any de publicació: 2003

Volum: 82

Número: 2

Pàgines: 452-457

Tipus: Article

DOI: 10.1016/S0254-0584(03)00280-3 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus