Hardness of C, CNx and AlN thin films after rapid thermal annealing

  1. Beshkov, G.
  2. Vassilev, G.P.
  3. Elizalde, M.R.
  4. Gomez-Acebo, T.
Zeitschrift:
Materials Chemistry and Physics

ISSN: 0254-0584

Datum der Publikation: 2003

Ausgabe: 82

Nummer: 2

Seiten: 452-457

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0254-0584(03)00280-3 GOOGLE SCHOLAR
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