Ceramic pressure sensor based on tantalum thin film
- Ayerdi, I.
- Castaño, E.
- Garcia-Alonso, A.
- Gracia, F.J.
ISSN: 0924-4247
Año de publicación: 1994
Volumen: 42
Número: 1-3
Páginas: 435-438
Tipo: Artículo
Revista:
Sensors and Actuators: A. Physical