Selective formation of porous silicon using silicon nitride and SU-8 masks for electroluminescence applications
- Celigüeta, I.
- Arana, S.
- Gracia, F.J.
- Castaño, E.
Konferenzberichte:
2005 Spanish Conference on Electron Devices, Proceedings
ISBN: 9780780388109
Datum der Publikation: 2005
Ausgabe: 2005
Seiten: 331-334
Art: Konferenz-Beitrag