Formation of 4-beam laser interference patterns for nanolithography

  1. Zhang, J.
  2. Wang, Z.
  3. Verevkin, Y.K.
  4. Olaizola, S.M.
  5. Peng, C.
  6. Tan, C.
  7. Rodriguez, A.
  8. Daume, E.Y.
  9. Berthou, T.
  10. Tisserand, S.
  11. Ji, Z.
Konferenzberichte:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819467218

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 6593

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1117/12.723782 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus