Current developments and applications using multi-beam laser interference lithography for nanoscale structuring of materials

  1. Su, S.Z.
  2. Rodríguez, A.
  3. Olaizola, S.M.
  4. Peng, C.S.
  5. Tan, C.
  6. Verevkin, Y.K.
  7. Berthoud, T.
  8. Tisserand, S.
Actes:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819467218

Any de publicació: 2007

Volum: 6593

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1117/12.723620 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus