Current developments and applications using multi-beam laser interference lithography for nanoscale structuring of materials

  1. Su, S.Z.
  2. Rodríguez, A.
  3. Olaizola, S.M.
  4. Peng, C.S.
  5. Tan, C.
  6. Verevkin, Y.K.
  7. Berthoud, T.
  8. Tisserand, S.
Konferenzberichte:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819467218

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 6593

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1117/12.723620 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus