Optimization of a three-electrode electrochemical etch-stop process

  1. Elizalde, J.G.
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Zeitschrift:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Datum der Publikation: 1997

Ausgabe: 62

Nummer: 1-3

Seiten: 668-671

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0924-4247(97)01540-9 GOOGLE SCHOLAR
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