Optimization of a three-electrode electrochemical etch-stop process

  1. Elizalde, J.G.
  2. Olaizola, S.
  3. Bistué, G.
  4. Castaño, E.
  5. García-Alonso, A.
  6. Gracia, F.J.
Aldizkaria:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Argitalpen urtea: 1997

Alea: 62

Zenbakia: 1-3

Orrialdeak: 668-671

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/S0924-4247(97)01540-9 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus