Optimization of a three-electrode electrochemical etch-stop process
- Elizalde, J.G.
- Olaizola, S.
- Bistué, G.
- Castaño, E.
- García-Alonso, A.
- Gracia, F.J.
ISSN: 0924-4247
Ano de publicación: 1997
Volume: 62
Número: 1-3
Páxinas: 668-671
Tipo: Artigo
ISSN: 0924-4247
Ano de publicación: 1997
Volume: 62
Número: 1-3
Páxinas: 668-671
Tipo: Artigo