Threshold energy for sputtering and its dependence on angle of incidence

  1. Eckstein, W.
  2. Garciá-Rosales, C.
  3. Roth, J.
  4. László, J.
Revista:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Any de publicació: 1993

Volum: 83

Número: 1-2

Pàgines: 95-109

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0168-583X(93)95913-P GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus